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半導体産業向け照明

精密製造用光源ソリューション

半導体産業向け照明

ハイエンド製造業における輸入コア光源への依存度の高さという業界の課題に対し、GMYは下流設備メーカーと提携し、的を絞った研究開発を実施しています。光洗浄、光重合、表面改質、流体滅菌、産業廃ガス処理における技術的専門知識を活かし、GMYは安定した放射出力で精密産業の厳しいプロセス要件を満たす、費用対効果の高い光学アプリケーションソリューションを提供します。

172nmフォトクリーニング

172nmエキシマ紫外線の高エネルギー量子放射は、材料表面の有機汚染物質の分子鎖を分解すると同時に、生物活性酸素とフリーラジカルを活性化します。これにより、残留有機物が瞬時に酸化・分解され、気体のCO₂とH₂Oが生成されます。その結果、非接触かつ化学物質の痕跡を残さない、超クリーンな表面処理が実現します。

当社は、以下の分野で広く利用されている最先端のソリューションを提供しています。

  • 液晶および半導体フラットパネルディスプレイ
  • 半導体シリコンウェハ基板
  • マイクロエレクトロニクス集積回路(IC)
  • 高精度光学部品
  • 太陽光発電パネルの製造
  • 生物医学
  • マイクロ・ナノ製造
172nm Excimer Lamp Photo-Cleaning Process
172nm Excimer Surface Matting and Curing Technology

172nm光硬化

このプロセスは、172nmエキシマ表面マット化・硬化技術を利用しており、特定の高エネルギー波長を用いてポリマー分子の結合を直接切断し、モノマーとオリゴマー間の高速架橋反応を開始させます。従来の広帯域UV硬化と比較して、このプロセスは平滑化された表面を精密に微細再構築し、極めて短時間で均一な微細折り畳みマット効果を実現することで、表面硬度と耐擦傷性を大幅に向上させます。

以下の分野に適しています:

  • 特殊コーティングおよび構造接合プロセス
  • 高精度グラフィック印刷
  • 高速インクジェット印刷
  • 3Dプリンティング
  • 包装印刷業界

純水製造とTOC分解

185nmの紫外線光源と172nmのエキシマランプ技術を組み合わせることで、流体パイプライン内で強力な光化学反応を誘発します。光触媒作用によって水分子を分解し、高反応性のヒドロキシルラジカルを生成することで、水中の残留全有機炭素(TOC)を完全に酸化・分解し、CO₂とH₂Oを生成します。172nmのエキシマ光源は、より高い光子エネルギーを持つため、超純水および超高純度水(UPW)システムにおいて、非常に効率的なTOC低減を実現します。

用途例:
超純水(UPW)最終製品製造システムにおけるTOCの徹底的な除去;飲料水中の微量汚染物質の処理;高純度工業用オゾンの生成;微量農薬および化学物質残留物の光触媒分解;繊維染色廃水の効率的な光触媒脱色。
Ultrapure water purification and TOC reduction system
172nm Hydrophilic Modification Surface Energy Enhancement

172nm疎水性修飾

表面エネルギー増強:

172nmエキシマ光の放射作用により、非極性材料表面の炭化水素分子鎖が効率的に切断される。この光化学反応により、ヒドロキシル基(-OH)やカルボキシル基(-COOH)などの極性親水性基が多数導入され、材料の表面自由エネルギーが大幅に向上する。処理された基板は完全に親水性に改質され、液滴は瞬時に微小球から表面全体に均一に濡れた液膜へと変化する。

金属基板:

チタン、アルミホイルなど

半導体および無機材料:

シリコンウェハー、ITOガラス基板。

工業用エンジニアリングプラスチック:

PP、PC、PE、PMMA、PET、PVC、PS。

技術デモンストレーションと工場見学

当社の先進的な172nmエキシマ光源アプリケーション、高精度品質検査ライン、自動生産ワークフローの実際の動作をご覧ください。

高精度真空UVソリューションをお探しですか?

GMYと提携することで、堅牢な172nmエキシマランプと、業界標準に合わせてカスタマイズ可能なフォトクリーニングシステムをご利用いただけます。

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お問い合わせ :jwtan@gmyok.com