空冷式VUV光源

の 172nm MINlエキシマモジュール コンパクトでプラグアンドプレイ対応のデスクトップソリューションです。 半導体研究開発 そして 実験室での検証短波長真空紫外線（VUV）を照射することで、分子結合を切断し、有機汚染物質を除去し、基板を損傷することなく表面エネルギーを変化させるため、研究室や大学向けの機敏なプロセス検証プラットフォームを提供する。