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産業統合型172nmエキシマランプ表面光洗浄
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semiconductor wafer dry cleaning UV light

産業統合型172nmエキシマランプ表面光洗浄

GMYの製品で表面処理の精度を向上させましょう 172nmエキシマランプ高度な技術を活用する 光化学酸化当社の水銀を含まない172nmの紫外線照射ソリューションは、有機汚染物質を効果的に分解し、半導体ウェハー、ディスプレイ基板、光学デバイス上の原子レベルの清浄度を実現します。

  • 製品仕様

    モデルチューブサイズ(直径×長さ)放出長さ製品コード
    172E860D40×957860Wφ40 × 957 mm860 mmA520121 4001000
    172E172D26.5×908172Wφ26.5 × 908 mm842 mmA5201215001000

     

    主な機能

    01 水銀不使用操業

    100%環境に優しい真空UV処理は、国際的なRoHS指令に完全に準拠しており、クリーンルームにおける危険な水銀の危険性や廃棄リスクを排除します。

    02 高エネルギー光子はヒドロキシルラジカル(HO*)を生成する

    高エネルギーの真空紫外波長を放出し、周囲の酸素分子を継続的にイオン化することで、有機結合の迅速な切断を可能にする高密度の反応性ヒドロキシルラジカル(HO*)を生成する。

    03 安定した品質と確実な納期、そして大規模な生産能力

    大規模な工業生産ラインに支えられ、完全なバッチ均一性、厳格な出荷前エージングテスト、そして揺るぎないサプライチェーンの信頼性を保証します。

    04 用途に合わせてカスタマイズ可能なランプデザイン

    円弧の長さ、外形寸法、マルチピン電気キャップ端子、および適合するバラスト制御装置を個別に調整することで、カスタムツールへのシームレスな機械的統合を実現します。

     
    172nm エキシマランプ - 写真クリーニング
    GMYの172nmエキシマランプで表面処理の精度を向上させましょう。光化学酸化を利用して、
    当社の水銀不使用172nm紫外線溶液は、有機汚染物質を効果的に分解します。
    半導体ウェハー、ディスプレイ基板、および光学デバイスにおいて、原子レベルの清浄度を実現する。
    172nmエキシマランプは、次世代の真空紫外光源として設計されています。
    特に高効率ドライクリーニングおよび表面改質向け。
    直接光化学酸化の原理に基づいて動作し、
    172nmの真空紫外光子は、材料表面の有機汚染物質の分子結合を切断するエネルギーを運ぶ。
    同時に、光は周囲の酸素と反応し、基板構造を損傷することなく、対象表面を原子レベルの清浄度にまで清浄にする。

    --------------占位--------------

    応用 フィールズ

    ディスプレイ基板

    大型ガラス板表面向けに、マクロスケールのVUVドライプロセスを実現します。アレイ処理層の前に残留する多分子痕跡を効果的に除去し、最大限の均一性と低い不良率を保証します。

    半導体シリコンウェハー

    シリコン表面から目に見えない有機物クラスターや空気中の炭化水素を原子レベルまで除去します。ネイティブリソグラフィトラックや酸化膜積層のための重要なウェハパターンを準備します。

    集積回路

    フリップチップボンディングの前に、マイクロバンプや高密度IC相互接続レイアウトを除染します。端子トラックを洗浄することで、アンダーフィル接着性を大幅に向上させ、パッケージの剥離を防止します。

    光学デバイス

    繊細なプリズム、結晶部品、高度なレーザー光学部品に対し、非接触式・低温光源によるドライクリーニングを提供します。薄膜反射防止層を、手作業によるクリーニング時の擦り傷や溶剤の跡から保護します。

    LCD製造

    薄膜トランジスタ(TFT)液晶プレート、カラーフィルター、偏光子ターゲットを洗浄します。表面の濡れ性を最大限に高め、高速組立ライン処理中の材料の均一な塗布をサポートします。

    電子ペーパー

    フレキシブル電子ペーパーディスプレイ上の複雑なポリマー裏打ち層とマトリックスパネルを最適化します。構造的な熱歪みを生じさせることなく、界面架橋密度を大幅に向上させます。

    ARレンズ

    樹脂またはガラス製のウェアラブルスマートレンズに対し、精密な光洗浄処理を施します。蒸着プロセス前に表面の接触角を大幅に低下させることで、耐久性があり、筋のない光学コーティングを実現します。

    マイクロ・ナノ製造

    ポリマー樹脂およびマイクロ流体ラボオンチップ装置への化学修飾および官能性極性基(-OH、-COOH)の挿入を誘発し、固体基板毛細管チャネルと恒久的な接合を確立します。

    認証およびコンプライアンス

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    最高水準の製造基準を保証する、認証済みの品質管理システム。

    CE Certified Declaration
    CE

    CE認証取得済み

    欧州の健康、安全、環境保護に関する法令を完全に遵守しています。

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    RoHS指令準拠

    有害物質を一切使用しない、環境に優しい製造方法。

    UL Safety Certificate
    UL

    UL認証取得済み

    北米における最高水準の電気セキュリティおよび防火基準への適合。

    よくある質問

    Q 光洗浄において、172nmエキシマランプが従来の185nm紫外線ランプよりも優れている点は何ですか?

    低圧水銀ランプ(185nm/254nm)とは異なり、172nmエキシマ光は、有機化合物内の強力な炭素-炭素分子結合を直接切断できる、はるかに高い単一光子エネルギーを放出します。さらに、172nm光は一般的な大気層において非常に高い吸収係数を持つため、高密度のヒドロキシルラジカル($HO^\bullet$)と天然オゾンを同時に生成することができ、有機汚染物質の除去速度を飛躍的に加速させます。

    Q これらの工業用高出力エキシマランプは水銀を含んでいませんか?

    はい、GMY社の172nmエキシマランプはすべて、水銀を一切使用しない誘電体バリア放電(DBD)方式で動作します。これは、厳格なグリーンファクトリー基準、RoHS指令、および最新の環境ガイドラインに完全に準拠しており、クリーンルーム施設での使用にも安全で、使用済み時の廃棄も容易です。

    Q これらのランプを自動高速コンベアラインに直接組み込むことは可能でしょうか?

    もちろんです。エキシマ技術の瞬時点灯設計のおかげで、これらのランプは水銀ランプのような長時間のウォームアップを必要としません。コンベアのトリガーで瞬時にオン/オフを切り替えることができ、予期せぬシステム停止時の熱負荷を防ぎ、大幅なシステム統合の柔軟性を実現します。
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お問い合わせ :jwtan@gmyok.com