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172nmエキシマランプモジュール半導体ウェハー&マスクUV洗浄FMM/インバーフィルムマット
172nm excimer lamp module
172nm excimer surface treatment
PI film adhesion enhancement light
VUV contact angle reduction module
172nm cold UV light source
Mercury free 172nm light source

172nmエキシマランプモジュール半導体ウェハー&マスクUV洗浄FMM/インバーフィルムマット

ナノスケールの有機汚染物質を除去します。半導体ウェハーのUV洗浄、FMMファインメタルマスク洗浄、インバーマスク洗浄、OLED蒸着マスク洗浄、フォトマスク洗浄、PCBのUV洗浄、ローラーコーティングラインにおけるエキシマUVマット処理などに幅広く使用されています。浜松ホトニクス社製およびウシオ電機社製の172nmエキシマランプに代わる、コスト効率の高い代替品として最適です。
  • モデル :

    MO-D330-6
  • 保証 :

    1 year
  • 1m地点での放射照度 :

    >100 mW/cm²
  • 均一 :

    ±10%
  • 172nm中心放射照度 :

    >70 mW/cm² @3mm
  • 平均耐用年数(照射強度70%以上) :

    2,500 hrs
  • サイズ :

    (350×350mm irradiation window)
  • 動作湿度 :

    20%~80%
  • 動作温度 :

    -5°C~30°C
  • 総出力 :

    1200W ±10%
  • 入力電圧(V) :

    AC 110~240V
  • GMY MO-D330-6 172nmエキシマランプモジュール

    プロの中国製エキシマランプメーカーとして

    当社の強み

    • 01. お客様のアプリケーション要件に基づいたカスタマイズソリューション
    • 02. 設計から製造まで30~45日で納品
    • 03. 開発コストゼロ|単体でのカスタマイズが可能

    応用 フィールズ

    Semiconductor wafer & Mask Cleaning

    半導体ウェハおよびマスクの洗浄

    172nmの真空紫外光は強い酸化力を持つ。ウェハ上の有機汚れや微粒子を分解し、残留物も残さない。これにより、高精度な半導体製造が保証される。

    OLEDおよびディスプレイパネルのマスククリーニング

    172nmエキシマランプは高エネルギーの紫外線を発します。これはOLED/ディスプレイパネルのマスク上の不純物を除去し、画素欠陥を防ぎます。BOEやTCLのCSOT生産ラインに適しています。

    Organic particles & TOC Removal
    Film & Coating Production

    FMM、インバー、OLED蒸着金属マスクの洗浄

    FMMファインメタルマスク洗浄用UVランプ、インバーマスク洗浄用172nmエキシマランプ、

    OLED蒸着マスクUV洗浄UV、172nm VUV金属マスク洗浄

    172nmの真空紫外光は、これらのマスク上の有機物を分解します。マスクの構造を損傷することなく、正確なピクセル位置決めを保証します。これにより、生産歩留まりが直接向上します。

    フィルム・コーティング製造 エキシママットフィルム製造ライン

    172nm VUVローラーコーティングシステム、エキシマUVマット加工。

    172nmのエキシマUV光は、フィルム表面を改質します。表面を粗くすることで、つや消し効果を高め、塗膜の密着性を向上させます。連続ローラーコーティングプロセスに適しています。

    Cold Plate & AI Server Cleaning

    主な機能

    01 高強度出力

    表面照射強度 > 100 mW/cm²、70 mW/cm²(@3mm)。有機汚染物質を効率的に除去します。

    02 長寿命

    高性能電極と精密なガス制御。基本寿命2500時間以上。1000時間保証、劣化なし < 30%。業務用で最大3000時間以上使用可能。

    03 優れた均一性

    照射窓:350×350mm、均一性±10%。窓のサイズはご要望に応じてカスタマイズ可能です。

    04 即時操作

    予熱不要、即時起動。高周波運転およびロールツーロール式ローラーコーティングシステムに対応。

    05 高い適応性

    -5℃~30℃の温度範囲で安定した動作を実現し、クリーンルームや温度管理が必要なエリアに最適です。

    06 柔軟な統合

    様々な生産設備に対応可能です。迅速な納品と開発コストゼロで、お客様のニーズに合わせたソリューションをご提供いたします。

    07 水銀不使用の光源

    172nmの水銀不使用の紫外線光源を採用し、安全性と環境保護を確保しています。

    08 プロフェッショナルで信頼できる

    紫外線分野および機器製造における30年の経験に裏打ちされた、大規模生産能力、高い製品一貫性、安定した性能、そして信頼性の高い納期厳守を実現します。

    認証およびコンプライアンス

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    最高水準の製造基準を保証する、認証済みの品質管理システム。

    CE Certified Declaration
    CE

    CE認証取得済み

    欧州の健康、安全、環境保護に関する法令を完全に遵守しています。

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    RoHS指令準拠

    有害物質を一切使用しない、環境に優しい製造方法。

    UL Safety Certificate
    UL

    UL認証取得済み

    北米における最高水準の電気セキュリティおよび防火基準への適合。

    よくある質問

    Q 172nmエキシマランプの動作原理は何ですか?

    172nmの真空紫外エキシマランプは、ガス放電によって高エネルギーの真空紫外光を発生させる。その光子エネルギーは非常に高く、一般的な有機分子の結合エネルギーをはるかに凌駕する。

    強力な分子結合切断能力を持つ光は、有機汚染物質を直接分解します。また、活性酸素種を生成することで、洗浄効果とTOC除去効果を高めます。

    信頼性の高いウシオエキシマランプの代替品、および浜松ホトニクス172nmランプの代替品として、半導体洗浄、コールドプレート洗浄、CDUおよびUPW水処理、フィルムマット加工、その他の産業用途に適しています。

    Q GMYを選ぶ理由とは?

    1. GMYは、UVランプの研究開発と製造において30年の経験を持ち、確かな技術力を有しています。
    2. お客様の実際のアプリケーション要件に合わせたカスタマイズソリューションを提供します。
    3. 短納期:設計から完成品まで30~45日。
    4. 開発コストはゼロで、1台からの注文でもカスタマイズが可能です。

    Q このデバイスは複数の用途に使用できますか?

    はい。半導体ウェハ、プリント基板、各種マスクの洗浄に加え、フィルムマット加工やローラーコーティング工程にも対応しています。用途に応じて微調整するだけで済みます。
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お問い合わせ :jwtan@gmyok.com